碳纳米管生长设备

发布时间：2021-12-06浏览次数：10

本设备由德国AIXTRON公司生产，型号为2 IN BLACKMAGIC，基于化学气相沉积（CVD）制备原理可以在2英寸的硅基片上成型单壁、双壁和多壁碳纳米管阵列以及石墨烯。最高成型温度为900℃，最大升温速度999℃/min。